Ekipman mayetron sputtering se sitou ki konpoze de pati sa yo:
1. Materyèl sib: eleman debaz la nan ekipman sputtering magnetron, anjeneral, fèt an metal, alyaj ak lòt materyèl.
2. Chanm Vacuum: anviwònman an opere nan ekipman sputtering magnetron bezwen yo dwe te pote soti nan kondisyon vakyòm segondè, ak chanm lan vakyòm jwe wòl nan kenbe vakyòm.
3. Sistèm Magnetron: Se jaden an mayetik itilize kontwole bonbadman an ion sou sifas la nan materyèl la sib ki lakòz sputtering.
4. ankadreman substrate: itilize sipòte materyèl la substra yo dwe trete.
5. Sistèm chofaj: Nan kèk ka, materyèl sib la ak substrate bezwen yo dwe chofe kontwole pwosesis la sputtering.
