1. Estrikti debaz nan machin kouch vakyòm
Machin kouch vakyòm se yon aparèy ki depoze fim mens sou sifas la nan substrate pa metòd fizik oswa chimik anba anviwònman vakyòm. Estrikti debaz li gen ladan pati sa yo:
1. Sistèm vakyòm: Li konpoze de ponp mekanik, ponp molekilè, ponp difizyon, elatriye, ki itilize pou ponpe chanm kouch nan yon anviwònman vakyòm segondè nan 10⁻³ ~ 10⁻⁶ PA (al gade nan "Manyèl Teknoloji kouch Vacuum"). Pou egzanp, ponp lan mekanik ka diminye presyon an nan 1 ~ 10 PA, ak ponp lan molekilè ka pli lwen diminye li nan anba a 10⁻⁴ PA.
2. Chanm kouch: kò a prensipal se yon kavite asye pur, ki se korozyon ki reziste epi ki gen sele fò. Gwosè a chenn nan 0.5 m³ pou ti laboratwa a 5 m³ pou klas endistriyèl (tankou ULVAC a ARL-300 modèl).
3. Evaporasyon Sous: Chwazi chofaj rezistans, gwo bout bwa elèktron oswa sous sputtering magnetron dapre kondisyon pwosesis la. Pou egzanp, pouvwa a nan sous elèktron evaporasyon gwo bout bwa ka rive jwenn 10 kW, ak pousantaj la evaporasyon se sou 1 ~ 5 nm/s.
2. Diferans nan konpozisyon diferan kalite machin kouch
1. Ekipman Depo Vapè fizik (PVD):
- Magnetron sputtering machin kouch bezwen yo dwe ekipe ak materyèl sib (tankou objektif Titàn, objektif aliminyòm) ak sistèm jaden mayetik, ak presyon gaz la ap travay se nòmalman 0.1 ~ 10 pA.
- Arc ion machin kouch ajoute sous ak, aktyèl la ka rive jwenn 100 ~ 200 a, ak adezyon an fim se pi fò.
2. Ekipman depo vapè chimik (kardyovaskulèr):
- gaz reyaktif (tankou Sih₄, CH₄) bezwen yo dwe prezante, ak yon sistèm kontwòl koule gaz ekipe, ak yon presizyon nan ± 1 SCCM (mililit estanda/minit).
3. Sistèm Oksilyè ak kle paramèt teknik
1. Sistèm kontwòl: PLC oswa òdinatè endistriyèl yo itilize pou kontwole vakyòm, tanperati (± 1 degre presizyon), ak epesè fim (mezire pa metòd kristal osilasyon kwats, presizyon ± 0.1 nm) nan tan reyèl.
2. Sistèm refwadisman: to koule konsepsyon nan tiyo a refwadisman dlo se nòmalman 20 ~ 50 L/min asire estabilite nan operasyon alontèm nan ekipman an.
Iv. Senaryo aplikasyon ak rekòmandasyon seleksyon
1. Kouch optik: mande pou inifòmite segondè (± 1% devyasyon epesè), ak bezwen yo chwazi yon milti-élégance elèktron gwo bout bwa evaporasyon sous.
2. Kouch zouti: konsantre sou dite (tankou kouch fèblan ka rive jwenn 2000 HV), ak ekipman ion plating ak pi pito.
Atravè analiz ki anwo a, itilizatè yo ka chwazi matche kalite machin lan kouch ak konfigirasyon dapre bezwen aktyèl (tankou pèfòmans fim, efikasite pwodiksyon).
