Akòz pèfòmans siperyè li yo, teknoloji sa a te vin metòd endikap depo fizik vapè (PVD) nan endistri modèn kouch, espesyalman nan domèn semi-conducteurs, optik, ak kouch fonksyonèl.
Pou konprann karakteristik sa yo nan magnetron sputtering, li nesesè yo kòmanse ak prensip k ap travay li yo. Entwodiksyon yon jaden mayetik se yon amelyorasyon fondamantal sou sputtering tradisyonèl yo.
Gwo -vitès, ba-tanperati sputtering: Nan sputtering dyòd tradisyonèl, elektwon segondè yo dirèkteman bonbade substra a, sa ki lakòz yon ogmantasyon tanperati rapid ak pousantaj depo ki ba. Magnetron sputtering, pa entwodwi yon chan mayetik orthogonal nan jaden elektrik la sou sifas sib la, sèvi ak fòs Lorentz pou mare elektwon tou pre sifas sib la, fòse yo deplase distans ki long ansanm sikloyid oswa elis. Sa a ogmante anpil pwobabilite pou kolizyon ak molekil gaz, ki pwodui plasma ki gen gwo -dansite. Sa a pèmèt pwodiksyon sputtering ak pousantaj depo ogmante pa yon lòd nan grandè konpare ak sputtering dyòd. Ansanm, enèji elektwon an fin itilize nan kolizyon miltip, sa ki lakòz enèji ki ba anpil lè li finalman rive nan substra a, reyalize yon balans ant "gwo vitès" ak "tanperati ki ba."
Bon jan kalite fim siperyè: Patikil yo sib sputtered (sitou atòm net) pote gwo enèji (sou lòd 10 eV, byen lwen depase 0.2 eV nan evaporasyon) ak depo sou substra a, ki se fezab nan fòmasyon nan nwayo kristal amann ak dans. Se poutèt sa, estrikti fim nan se amann, ak kèk pinholes ak pite segondè. An menm tan an, efè piki ki pote pa gwo -patikil enèji fè fim nan ak substra a gen adezyon trè fò epi yo pa fasil tonbe.
Aplikasyon materyèl lajè: Prèske tout materyèl (ki gen ladan gwo -fonn- metal pwen, alyaj, semi-conducteurs, seramik, elatriye) ka fè nan sib pou sputtering, kraze nan kou boutèy la nan limit pwen k ap fonn nan depo vapè tradisyonèl yo. Li kapab tou prepare fim mens konpoze atravè sputtering reyaktif (entwodwi gaz reyaktif tankou oksijèn ak nitwojèn), oswa reyalize kontwòl egzak nan konpozisyon fim alyaj atravè milti-ko-sputtering sib.
Ekselan kontwòlabilite pwosesis: Pa jisteman ajiste paramèt tankou ekipman pou pouvwa, presyon gaz k ap travay, ak to koule gaz, epesè fim, konpozisyon, ak mikrostruktur ka kontwole ak presizyon segondè. Li trè apwopriye pou prepare fim multikouch ak fim mens ak estrikti konplèks. Sistèm nan gen gwo estabilite ak repetibilite, epi li ka fasilman elaji soti nan ti -aplikasyon laboratwa echèl nan gwo -echèl pwodiksyon endistriyèl (tankou gwo-zòn achitekti glas kouvwi ak woulo-a-woulo kouch). Li se yon teknoloji endistriyèl ki gen matirite ak serye.
Limitasyon: Pa yon Miracles
Malgre avantaj enpòtan li yo, magnetron sputtering tou prezante kèk defi nannan: Pwoblèm itilizasyon sib: Akòz distribisyon inegal chan mayetik, yon "ippodrome" grave inegal fòme sou sifas sib la, sa ki lakòz yon to itilizasyon ki ba nan sib planè tradisyonèl yo, sèlman 30-40%.
Enstabilite Plasma: Nan sèten kondisyon pwosesis, pwosesis egzeyat la ka enstab, espesyalman pou sib feromayetik oswa nan pwosesis sputtering reyaktif, kote pwoblèm tankou "arc" ka rive.
Pwoblèm estrès fim: bonbadman patikil gwo-enèji ka lakòz tou estrès entèn enpòtan nan fim depoze, ki bezwen kontwole nan aplikasyon espesifik optik oswa mekanik.
An rezime, karakteristik debaz yo nan teknoloji magnetron sputtering manti nan kapasite li nan reyalize de gwo avans sou teknik tradisyonèl sputtering nan enkastre jaden mayetik: yon ogmantasyon siyifikatif nan pousantaj depo ak kontwòl efikas nan monte tanperati substra. Se jisteman konbinezon sa a nan gwo vitès ak tanperati ki ba ki ba li yon pozisyon iranplasabl nan fabrikasyon wo -.
https://www.tiktok.com/@vacuum.coatingmachine?lang=zh-Hans
Plis videyo machin kouch PVD tanpri vizite sit entènèt la, di ou mèsi.
