1. Sifas chanm lan pral toujou ap "ekri"
Chak pwosesis PVD pral kite tras nan chanm lan.
Tras sa yo sitou soti nan:
Depozisyon materyèl sputtered soti nan sib la, adezyon ak akimilasyon nan pwodwi reyaksyon, altène pwoteksyon nan plizyè materyèl
Apre yon tan, miray anndan chanm lan se pa metal orijinal la ankò, men se yon kouch fim konpoze ki toujou ap supèrpoze ak evolye.
Sa ki pi enpòtan, fim sa a pa "estab" epi li pral kontinye patisipe nan pwosesis ki vin apre yo, tankou re-sputtering, redepozisyon, ak re-reyaksyon.
Nan lòt mo, sifas chanm nan tèt li te vin yon pati nan pwosesis fabrikasyon an.
2. Anviwònman gaz la tou "sonje"
Chanm a se pa sèlman "fim k ap grandi", men tou, "retni lè".
Vapè dlo, oksijèn, ak gaz pwosesis rezidyèl yo ap kontinye adsorbe sou sifas chanm lan.
Nan pwosesis ki vin apre yo, gaz sa yo ka lage epi re{0}}antre nan plasma a.
Karakteristik yo nan pwosesis sa a yo se:
Pa konplètman kontwole. Gen rapò fò ak tanperati, tan, ak estati egzeyat. Diferans ap fèt nan diferan pakèt.
Rezilta a se:
Menm si pousantaj koule gaz la fikse pou konsistan, atmosfè a aktyèlman ki enplike nan reyaksyon an ka diferan.
3. Chemen egzeyat la piti piti "ranje"
Egzeyat la pa estab depi nan konmansman an; pito, li piti piti fòme yon estrikti sou operasyon alontèm-.
Kòm pwosesis la repete: Gen kèk rejyon pi fasil kenbe egzeyat la; lòt moun piti piti febli; distribisyon an plasma gen tandans nan direksyon pou yon "chemen abityèl." Pwosesis sa a se esansyèlman etabli yon "estrikti ki estab."
Yon fwa fòme, li pral gen yon enpak kontinyèl sou pwosesis ki vin apre yo.
4. Poukisa pwoblèm yo gen plis chans rive lè chanje pwosesis?
Lè yon pwosesis chanje, orijinal "eta" deranje: Nouvo materyèl kouvri ansyen kouch depo a; sistèm gaz la chanje; estrikti plasma a redistribiye. Sepandan, chanjman sa yo pa imedya men pito se yon pwosesis tranzisyon.
Pandan pwosesis sa a: Sistèm nan pa ni nan "ansyen eta a" ni li pa antre nan yon "nouvo eta fiks."
Kidonk, fenomèn nan tipik rive: Premye pakèt yo montre fluctuations enpòtan, ki te swiv pa estabilizasyon gradyèl.
5. Poukisa netwaye egal "reset memwa"?
Fonksyon netwayaj la se pa sèlman retire pousyè tè, men pi enpòtan toujou, pou:
Retire depo yo
Deranje balans adsorption gaz
Reyajiste chemen egzeyat yo
Soti nan yon pèspektiv sistèm, li ekivalan a:
Konplètman efase-eta akimile alontèm yo.
Se konsa, apre netwaye:
Eksperyans navèt orijinal la pa aplikab totalman ankò e yon nouvo balans bezwen re{0}}etabli.
6. Yon konpreyansyon ki pi fondamantal
Si nou ta rezime fenomèn sa a nan yon sèl fraz, li ta ka konprann jan sa a: Sistèm PVD la se pa yon "sistèm antre/sòti san memwa," men pito yon sistèm dinamik kontinyèlman enfliyanse pa istwa.
Paramèt yo se sèlman yon pati nan opinyon an, pandan y ap "eta a chanm" tèt li se yon varyab ki toujou ap evolye.
7. Rezime
Fòmasyon nan "memwa eta" chanm lan esansyèlman soti nan twa pwosesis alontèm -sipèpoze: evolisyon kontinyèl nan kouch depo enteryè miray la, sik kontinyèl nan adsorption gaz ak lage, ak solidifikasyon gradyèl nan chemen an egzeyat pandan pwosesis repete. Faktè sa yo travay ansanm pou fè sistèm nan montre yon klè "depandans istwa".
8. Yon konklizyon kle: Eta egzeyat ou wè chak fwa se pa aktyèlman rezilta paramèt aktyèl yo, men sipèpozisyon paramèt aktyèl yo ak eta istorik akimile yo.
