Komenmilti-arc ion plating ekipman vakyòm kouchitilize swa bonbadman arc oswa netwayaj ion agon. Ki diferans espesifik ant de la?
Youn se netwayaj ion metal, ak lòt la se netwayaj ion gaz; nivo enèji yo diferan, ak prensip yo tou diferan. Jodi a, Puyuan Vacuum pral ba ou yon entwodiksyon detaye:
Multi-plak iyon arc itilize yon metòd dechaj arc elektrik pou evapore metal dirèkteman sou yon sib katod solid. Materyèl evapore a konsiste de iyon ki soti nan materyèl katod ki emèt pandan egzeyat arc katod la. Aparèy sa a pa mande pou yon pisin fonn; se sib la yo dwe evapore ki konekte nan katod la, ak chanm nan vakyòm aji kòm anod la. Lè elektwòd deklanche a toudenkou ak enstantane kontakte sib katod la, yon arc pwovoke, jenere yon plas katòd klere byen klere sou sifas katod la. Dyamèt tach la se mwens pase 100µm, ak dansite aktyèl la nan plas la ka rive nan 10³ ~ 10⁷ A/cm². Materyèl la nan rejyon sa a Lè sa a, enstantane evapore ak ionize. Plas arc katod la deplase owaza sou sifas katod la nan yon vitès de dizèn de mèt pou chak segonn. Yo itilize yon jaden mayetik ekstèn pou kontwole trajectoire ak vitès plas la. Pou kenbe arc vakyòm, yon vòltaj nan -20 a -40 V jeneralman obligatwa.
Prensip milti-plak ion arc ki baze sou teyori egzeyat vakyòm katòd frèt la, ki postule ke transfè chaj la pandan pwosesis egzeyat la reyalize atravè egzistans similtane ak kontrent mityèl de mekanis: emisyon elèktron jaden ak aktyèl ion pozitif. Pandan pwosesis egzeyat la, yon gwo kantite materyèl katod evapore. Iyon pozitif ki te pwodwi pa molekil vapè sa yo kreye yon jaden elektrik trè fò nan yon ti distans tou pre sifas katod la. Anba enfliyans jaden elektrik fò sa a, elektwon yo emèt nan vakyòm nan kòm elektwon jaden. Iyon pozitif ka konte pou apeprè 10% nan aktyèl la arc total. Iyon metal ki atire sifas katod la fòme yon kouch chaj espas, ki an vire jenere yon gwo jaden elektrik, sa ki lakòz pwen sou sifas katod la ak fonksyon travay ki ba (fwontyè grenn oswa fant) kòmanse emèt elektwon. Pwen endividyèl ak gwo dansite emisyon elektwon gen gwo dansite aktyèl. Chofaj Joule ogmante tanperati a, jenere elektwon tèrmionik, plis ogmante emisyon elektwon. Efè fidbak pozitif sa a lakòz lokalize konsantrasyon aktyèl la.
Chofaj Joule ki te pwodwi pa konsantrasyon aktyèl lokalize sa a lakòz fòmasyon plasma eksplozif lokalize sou sifas materyèl katod la, emèt elektwon ak iyon epi kite mak egzeyat. Patikil materyèl katòd fonn yo lage tou. Gen kèk nan iyon yo emèt yo atire tounen nan sifas la katod, fòme yon kouch chaj espas, jenere yon jaden elektrik fò, ki an vire lakòz nouvo pwen ak fonksyon travay ki ba yo kòmanse emèt elektwon.
Multi-arc ion plating vakyòm ekipman teknoloji gen karakteristik sa yo:
Avantaj: Li ka enstale abitrèman pou asire epesè fim inifòm. Yon jaden mayetik ekstèn amelyore egzeyat arc; kraze arc la; ogmante vitès wotasyon; rafine patikil fim; ak akselere patikil chaje yo. Segondè pousantaj ionizasyon metal se benefisye pou inifòmite fim ak adezyon, fè li pwosesis la pi bon pou ion plating. Yon sèl arc sèvi plizyè rezon: li aji kòm yon sous evaporasyon, yon sous pirifikasyon pre-bonbadman, ak yon sous iyonizasyon.
Dezavantaj: Nan gwo pouvwa, gwo patikil metal yo fasil pwodwi, ki afekte bon jan kalite a kouch; ak enstabilite egzeyat arc rive sou kèk materyèl sib.
Metòd pou redwi jenerasyon ti gout gen ladan yo: diminye dansite pouvwa egzeyat, ogmante vitès plas arc, ranfòse mezi refwadisman katod, ak anplwaye filtraj mayetik.
