Rezistans evaporasyon ekipman kouch vakyòm sitou konsiste de yon chanm vakyòm ak yon sistèm ponp vakyòm. Chanm vakyòm lan gen yon sous evaporasyon (sa vle di, yon aparèy chofaj evaporasyon), yon substrate ak detantè substrate, yon aparèy chofaj substrate, ak yon sistèm tiyo echapman. Se materyèl la kouch mete nan sous la evaporasyon nan chanm nan vakyòm. Anba kondisyon vakyòm segondè, sous la evaporasyon chofe materyèl la, sa ki lakòz li evapore. Lè chemen an gratis nan molekil vapè yo depase dimansyon lineyè nan chanm vakyòm, atòm yo ak molekil nan vapè a chape soti nan sifas la nan sous la evaporasyon ak kolizyon minimòm oswa obstak soti nan lòt molekil oswa atòm, sa ki pèmèt yo dirèkteman rive nan sifas la nan substra a. Akòz tanperati ki pi ba nan substra a, patikil vapè yo kondanse sou li pou fòme yon fim.
Pou amelyore adezyon ki genyen ant molekil yo evapore ak substra a, substra a ka aktive pa chofaj apwopriye oswa netwayaj ion. Pwosesis fizik ki enplike nan kouch evaporasyon vakyòm, soti nan evaporasyon materyèl ak transpò nan depo fim, se jan sa a:
(1) Yo itilize plizyè metòd pou konvèti lòt fòm enèji nan enèji tèmik, chofaj materyèl fim nan lakòz evaporasyon oswa sublimasyon, sa ki lakòz patikil gaz (atòm, molekil, oswa gwoup atomik) ak yon sèten enèji (0.1 ~ 0.3 eV);
(2) Patikil gaz yo kite sifas fim nan epi yo transpòte nan sifas substra a nan yon liy relativman dwat ak kolizyon minimòm nan yon vitès konsiderab;
(3) Patikil gaz yo ki rive nan sifas substra a kondanse ak nwaye, ap grandi nan yon fim solid-faz mens;
(4) Atòm yo ki konstitye fim mens la reranje oswa fòme lyezon chimik.
Rezistans chofaj evaporasyon se metòd chofaj ki pi senp ak pi souvan itilize, jeneralman apwopriye pou materyèl kouch ak pwen k ap fonn anba a 1500 degre. Tipikman, yon gwo -fonn- metal pwen (W, Mo, Ti, Ta, nitrure bor, elatriye) nan fòm lan nan yon fil oswa fèy se yon sous evaporasyon ki gen fòm apwopriye, sou ki materyèl kouch yo chaje. Chofaj Joule aktyèl la fonn, evapore, oswa sublime materyèl la kouch. Fòm sous evaporasyon an sitou gen ladan espiral milti-sekans, fòm U-, fòm vag sinusoidal, plak mens, fòm bato, ak fòm panyen konik.
Ansanm, metòd sa a mande pou materyèl sous evaporasyon an gen karakteristik tankou gwo pwen k ap fonn, presyon vapè satire ki ba, pwopriyete chimik ki estab (pa reyaji chimikman ak materyèl la kouch nan tanperati ki wo), bon rezistans chalè, ak ti varyasyon dansite pouvwa. Yo itilize yon gwo kouran pou pase nan sous evaporasyon an pou chofe ak evapore materyèl kouch la dirèkteman, oswa materyèl kouch la mete nan yon kreze ki fèt ak grafit oswa sèten oksid metal ki reziste segondè -tanperati (tankou Al₂O₂, BO) pou chofaj endirèk ak evaporasyon.
Rezistans evaporasyon ekipman kouch vakyòmgen limit nan depo fim. Metal refractory gen presyon vapè ki ba, sa ki fè yo difisil pou fòme fim mens; kèk eleman fasil fòme alyaj ak fil chofaj la; epi li difisil pou jwenn fim alyaj ak konpozisyon inifòm. Sepandan, evaporasyon chofaj rezistans se yon metòd evaporasyon lajman itilize akòz estrikti senp li yo, pri ki ba, ak fasilite nan operasyon.
