Machin kouch vakyòmsitou refere a yon kalite kouch ki bezwen fèt anba yon degre relativman wo nan vakyòm, ki gen ladan anpil kalite, ki gen ladan evaporasyon ion vakyòm, magnetron sputtering, MBE molekilè epitaksi gwo bout bwa, PLD lazè sputtering depo, elatriye Lide prensipal la se divize li an de kalite: evaporasyon ak sputtering.
Pwosesis koulè gradyan an jeneralman itilize ekipman kouch magnetron sputtering. Kounye a, kav koulè gradyan nan anpil modèl telefòn mobil tankou Huawei ak Lenovo itilize pwosesis kouch gradyan PVD la.
Magnetron sputtering se yon kalite depo vapè fizik (Physical Vapor Deposition, PVD). Metòd sputtering jeneral la ka itilize pou prepare metal, semi-conducteurs, izolan ak lòt materyèl, e li gen avantaj ki genyen nan ekipman senp, kontwòl fasil, gwo zòn kouch ak adezyon fò.
Metòd magnetron sputtering devlope nan ane 1970 yo te reyalize gwo vitès, tanperati ki ba ak domaj ki ba. Paske gwo vitès -sputtering fèt anba presyon ki ba, to ionizasyon gaz la dwe efektivman ogmante. Magnetron sputtering entwodui yon chan mayetik sou sifas katod sib la epi li sèvi ak jaden mayetik la pou limite patikil chaje pou ogmante dansite plasma pou ogmante pousantaj sputtering la.
Magnetron sputtering machin kouch vakyòm se ekipman ki pi souvan itilize pou kouch pwodwi ki deja egziste anba kondisyon vakyòm. Yon machin konplè magnetron sputtering kouch vakyòm konpoze de plizyè pati nan sistèm nan. Chak sistèm ka ranpli fonksyon diferan pou reyalize dènye kouch -wo kalite a. Eleman yo nan kouch magnetron sputtering gen ladan chanm vakyòm, ponp mekanik, sistèm tès vakyòm, ponp difizyon lwil oliv, sistèm vakyòm, ponp kondansasyon, sistèm kontwòl fòmasyon fim, elatriye.
Kò prensipal la nan machin nan kouch vakyòm magnetron sputtering se chanm nan vakyòm. Gwosè chanm vakyòm lan detèmine pa pwodwi trete yo. Ka gwosè a nan magnetron sputtering kouch la ka Customized. Chanm a jeneralman fèt ak asye pur epi li oblije fò, dirab ak rouye-gratis. Magnetron sputtering kouch vakyòm chanm lan gen anpil tiyo konekte konekte divès kalite ponp oksilyè.
Sistèm kontwòl fòmasyon fim nan magnetron sputtering kouch ka adopte diferan metòd, tankou tan fiks plating, enspeksyon vizyèl, siveyans ekstrèm ak siveyans Vibration kristal. Machin kouch vakyòm ak metòd kouch machin vakyòm yo tou divize an divès pwosesis. Yo itilize souvan yo enkli kouch evaporasyon ion ak kouch magnetron sputtering. Kouch fim nan plake pa magnetron sputtering gen adezyon fò ak pite segondè, epi li ka sputter yon varyete de materyèl ak konpozisyon diferan an menm tan an.
