1. Frekans radyo (RF) - sous enèji pou PECVD
Senpleman mete, frekans radyo (RF) se fòs kondwi PECVD; li detèmine si plasman ka pwodwi, ki jan fò jenerasyon an se, ak ki jan wo efikasite depozisyon an.
2. ekoulman lumineux -"ekspresyon" plasma a
Egzeyat lumineux se yon fenomèn limyè vizib ki rive natirèlman apre plasma a eksite.
Lè yon gaz iyonize nan plasma pa yon jaden elektrik frekans radyo, elektwon yo andedan yo pral kontinyèlman sote ant nivo enèji segondè ak ba. Pwosesis sa a degaje foton. Lè yon gwo kantite foton konbine ansanm, yo fòme limyè nou wè nan fenèt obsèvasyon an, ki rele lumineux.
Ekla a se pa ni dekorasyon ni yon byproduct; li dirèkteman reflete vrè eta plasma a.
Diferan gaz, paramèt, ak kondisyon chanm yo pral lakòz varyasyon nan koulè, klète, ak inifòmite nan ekla plasma a. Yon ekla ki estab endike yon plasma ki an sante, pandan y ap flickering oswa ekla nòmal endike yon pwoblèm ak ekipman oswa pwosesis la.
Nan ti bout tan, egzeyat lumineux se ekspresyon ak lang nan plasma, ki enjenyè itilize pou jije si ekipman an an sante ak pwosesis la se ki estab.
Glow ka nan diferan koulè.
Koulè a nan lumineux varye selon gaz la.
Neyon (Ne): Emèt limyè wouj klasik -zoranj (limyè lumineuz)
Agon (Ar): emèt yon limyè ble-vyolèt.
Azòt (N2): emèt yon limyè woz-vyolèt.
Oksijèn (O2): emèt yon limyè jòn pal oswa blan.
Vapè sodyòm (Na): emèt yon limyè jòn trè byen klere.
2. Relasyon ant frekans radyo ak egzeyat lumineux
Frekans radyo ak egzeyat lumineux se pa de bagay endepandan, men pito gen yon relasyon kozatif, yon relasyon senbyotik, ak yon relasyon siveyans.
Frekans radyo bay enèji epi li se kòz fòmasyon plasma.
Egzeyat Glow akonpaye aparans nan plasma epi li se yon manifestasyon ekstèn nan plasma.
San frekans radyo, pa gen plasma, kidonk pa gen okenn limyè.
Absans yon ekla ki estab ak inifòm endike move transmisyon enèji frekans radyo, distribisyon inegal jaden elektrik, ak kondisyon chanm nòmal.
3. Rezime ki pi senp la
Frekans radyo (RF) se nwayo enèji nan PECVD, ki responsab pou jenere ak kontwole plasma.
Egzeyat Glow se yon ekspresyon eta plasma epi li responsab pou reflete si pwosesis la estab.
Si frekans radyo a estab, egzeyat lumineux la ap estab.
Egzeyat lumineux ki estab asire bon jan kalite fim ki estab.
