Se prensip la k ap travay nan ekipman sputtering magnetron ki baze sou mouvman an E × B drift nan elektwon anba aksyon an nan jaden elektrik ak mayetik. Iyon yo ki te pwodwi pa kolizyon an nan elektwon ak atòm Agon, bonbade materyèl la sib lakòz li nan sputter ak depo sou substra a yo fòme yon fim mens. Pou izolasyon objektif ak konduktiviti pòv, frekans radyo sputtering (RF) oblije kenbe pwosesis la sputtering.
